Composants de mouvement
Axes, guidages, actionneurs et modules rotatifs de précision pour le positionnement des semi-conducteurs.
SEMI-CONDUCTEURS
Le mouvement de précision pour la fabrication de semi-conducteurs .
Solutions de mouvement conçues pour la manipulation des wafers, l’inspection, la métrologie, le packaging et le positionnement de précision en production avancée.
PRÉSENTATION DU SECTEUR
Conçu pour les procédés de semi-conducteurs les plus exigeants.
La fabrication de semi-conducteurs impose des contraintes strictes de précision, de répétabilité, de maîtrise de la contamination, de cadence et d’intégration.
Vectra Motion développe des composants, des plateformes coordonnées et des automatismes autour de ces exigences applicatives.
ENJEUX DU SECTEUR
Enjeux du secteur
Compatibilité salle blanche
Architectures de mouvement adaptées aux exigences de matériaux et de maîtrise de la contamination.
Précision de positionnement
Mouvement contrôlé pour le positionnement fin, la mesure et l’alignement du procédé.
Cadence maîtrisée
Profils de mouvement équilibrant vitesse utile, stabilité et maîtrise du procédé.
Fonctionnement stable
Systèmes conçus autour du cycle de service et des conditions d’exploitation.
SOLUTIONS RECOMMANDÉES
Solutions recommandées
Découvrir la solution
Systèmes de mouvement
Plateformes multiaxes coordonnées pour la manipulation, l’inspection, la métrologie et les mouvements de procédé.
Automatisation sur mesure
Équipements dédiés intégrant mouvement, commande, capteurs, outillage et flux de production.
APPLICATIONS
APPLICATIONS
Manipulation des wafers
Transfert, alignement et positionnement contrôlés.
Métrologie
Positionnement pour la mesure et la maîtrise du procédé.
Inspection
Mouvement pour les flux d’inspection optique et visuelle.
Support lithographique
Positionnement contrôlé pour les équipements de photolithographie.
Packaging
Mouvement pour le packaging avancé et l’assemblage final.
EXEMPLE D’APPLICATION
Améliorer la stabilité de l’inspection des wafers.
Une plateforme de positionnement de précision peut associer des profils de mouvement contrôlés, un retour de position adapté et une architecture mécanique rigide pour stabiliser l’inspection.
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FAQ
Questions fréquentes.
Les systèmes de mouvement peuvent-ils être conçus pour les salles blanches ?
L’aptitude dépend des matériaux, de la lubrification, de la gestion des câbles, de la maîtrise des particules, de la construction et de la classification environnementale requise.
Les solutions peuvent-elles soutenir une production continue ?
Les systèmes peuvent être conçus autour du cycle de service, des conditions d’exploitation, de la stratégie de maintenance et des objectifs de fiabilité.
Quels procédés de semi-conducteurs sont pris en charge ?
Les applications peuvent inclure la manipulation des wafers, l’inspection, la métrologie, la lithographie, le packaging et le positionnement de procédé.
Les systèmes peuvent-ils s’intégrer à des équipements existants ?
L’intégration peut tenir compte des commandes, outillages, capteurs, moyens métrologiques, dispositifs de sécurité et interfaces de données existants.
Développez-vous des solutions sur mesure pour les semi-conducteurs ?
Oui. Vectra Motion peut combiner composants configurables, plateformes coordonnées, commande, capteurs et automatisation applicative.
PRÊT À ÉCHANGER SUR VOTRE APPLICATION ?
Concevons votre application de mouvement pour les semi-conducteurs.
Présentez votre procédé, vos mouvements, votre environnement et vos besoins d’intégration à notre équipe d’ingénierie.